电子工业是现今科技时代高新技术产业发展不可或缺的行业推手，由于所需要用到的气体种类多，质量要求极高，为了和其他气体化工领域区别开来，我们通常把应用到电子工业中的气体统称为特种电子气体。

特种电子气体主要有：三氟甲烷、六氟化硫、三氟化氮、三氯化硼等。

三氟甲烷（CHF3)，又叫氟仿，是一种有机的化合物气体，常温下表现为无色无臭，可于水、乙醇、丙酮等相溶，熔点是-160℃，沸点是-84℃，主要用作灭火器、低温制冷等原料。  

    六氟化硫(SF6)，是一种无机化合物的稳定气体，常温下无色不燃，无臭无毒，能于水、乙醇、乙醚微溶，密度约为6.0886kg/m3，熔点是-50.8℃，沸点是-63.8℃（升华），临界温度是45.6℃，临界压力在3.76MPa，在有色金属的冶炼和铸造工艺中占很大的作用，还可用于电子、电气设备的气体绝缘等。

三氟化氮(NF3)，也是一种无机化合物气体，常温下无色，不溶于水，熔点为-207℃，沸点为129℃，可用作高能燃料、微电子工业中的等离子蚀刻气体。

三氯化硼(BCI3)，别名氯化硼，一种无色的发烟液体或气体，属于危险化学品，能和苯、二硫化碳相溶，熔点是-107.3℃，沸点是12.5℃，是半导体硅的掺杂源，也可以有机合成催化剂等，三氯化硼对人体有害，不能吸入、口服或通过皮肤的吸收，对环境也有一定危害。

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卡农填料，是一种用于实验室的超级高效填料，在国外拥有广泛的市场。随着工业气体在高科技行业的应用深入，用于生产特种电子气体的卡农填料在国内市场也将迎来可期的未来。